激光干涉儀的精度影響因素及使用驗證
點擊次數：1559次 更新時間：2022-07-06
激光干涉儀作為現代精密測量儀器的代表，以光波為載體，具有測量精度高、測量速度快、測量范圍大、測量速度分辨率高的特點。廣泛應用于精密制造、測量等行業，在精密位移、直線度、垂直度等測量領域發揮著重要作用。
在干涉儀的實際使用中，需要確認其在各種測量應用中的真實精度水平，以確保測量數據的準確性和可靠性。干涉儀的測量讀數與激光波長有關，因此激光頻率的準確性和穩定性是干涉儀測量精度的保證。此外，干涉儀環境條件補償系統（壓力、溫濕度傳感器）的讀數精度對測量精度有重要影響。
綜上所述，影響激光干涉儀測量精度的因素包括：
1、激光頻率(波長)和頻率穩定性；
2、測量讀數軟件系統造成的誤差；
3、反射鏡、角錐棱角誤差；
4、溫濕度、壓力傳感器誤差；
當然，具體測量任務中的測量精度也與測量人員、現場環境條件等因素有關。
激光干涉儀在購買和投入使用前應驗證其關鍵性能。隨著使用壽命的增加，干涉儀（包括環境補償系統）的性能可能會因老化或使用不當而下降，從而影響測量精度。
因此，有必要定期校準干涉儀測量系統的關鍵性能參數，以確保在精確測量應用中獲得準確的數據結果。根據測量驗證程序的要求，需要定期校準干涉儀的激光頻率、測距誤差、測角誤差和環境補償傳感器。
